Título PROCEDIMIENTO DE INTERRUPCION DE PELICULAS METALICAS.
Resumen Un método para aislar eléctricamente regiones de una película metálica situada sobre una delicada estructura subyacente partiendo la película a lo largo de una línea predeterminada, incluyendo el método las etapas de: a) antes de formar la película metálica, formar una capa inerte, o sustancialmente inerte, sobre la estructura subyacente, al menos en la región de una brecha de aislamiento requerida, b) formar la película metálica sobre la estructura subyacente y la capa inerte, c) formar una serie de agujeros a través de la película metálica por ablación del material desde la película metálica a lo largo de la línea de aislamiento, para separar regiones adyacentes, usar un láser de impulsos de longitud de onda larga, caracterizado por la tasa de repetición del impulso láser, la velocidad de barrido, y seleccionándose la potencia para provocar la ablación incompleta del material a lo largo de la línea de aislamiento, mientras que se forman zonas adyacentes de masa fundida que se solapan, siendo el material sometido a ablación suficiente para permitir que se junten los agujeros adyacentes debido a la tensión superficial mientras el metal está fundido en la región de los agujeros, aunque dejando sin fracturas la capa inerte en la región de la línea de aislamiento.
Solicitante PACIFIC SOLAR PTY LTD
Direc. Soli. 82-86 BAY STREET,BOTANY, NEW SOUTH WALES, 20
Nac.Solicitante AU
Inventor BASORE, PAUL, ALAN
BARRETT, NEIL
YOUNG, TREVOR
NºPublic. 2244184
F.Pub.Conce. 20051201
Prioridades AU19980409982903
Nº Solicitud Euro. E99913015
NºPubl.Euro. 1090430
F.Pub.Sol.Euro. 20010411
F.Conce.Euro. 20050824
Nº Solicitud PCT W9900268AU
F.Sol. PCT 19990409
NºPubl.PCT W9953554
F.Pub.Sol.PCT 19991021
Países desig.PCT AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL SE MC PT IE FI CY EPO
BF BJ CF CG CI CM GA GN GW ML MR NE SN TD TG OAPI
GH GM KE LS MW SD SL SZ UG ZW ARIPO
AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM EAPO
Clasif.Principal H01L31/18,H01L21/268,B23K26/38,H01L21/768,H01L27/142