Título PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA EL MONTAJE DE SUBSTRATOS.
Resumen Procedimiento para el montaje de al menos dos substratos para la formación de un soporte de datos, en una cámara de presión negativa, que presenta al menos un orificio para la entrada y/o salida de substratos, con las siguientes etapas del procedimiento: - cerrar herméticamente el orificio con relación al medio ambiente; - evacuar la cámara de presión negativa; - formar una cámara de transferencia entre un primer dispositivo de transferencia, que está dispuesto en la cámara de presión negativa, y un segundo dispositivo de manipulación, que está dispuesto fuera de la cámara de presión negativa, a través de la obturación respectiva del orificio de la cámara de presión negativa, presentando la cámara de transferencia un volumen menor que la cámara de presión negativa; - transferir los substratos en la cámara de transferencia desde el segundo dispositivo de manipulación hacia el primer dispositivo de manipulación, evacuando la cámara de transferencia antes y/o durante la transferencia del substrato a una presión que está por encima de la presión de la cámara de presión negativa; - transportar los substratos con el primer dispositivo de manipulación hacia una estación de montaje en la cámara de presión negativa, y, en concreto, cuando la cámara de presión negativa está cerrada herméticamente a través del segundo dispositivo de manipulación; - poner el primer dispositivo de manipulación en contacto con la estación de montaje para la formación de una cámara de unión; - evacuar la cámara de unión a una presión, que está por debajo de la presión en la cámara de presión negativa; - unir los substratos juntos en la estación de unión.
Solicitante STEAG HAMATECH AG
Direc. Soli. FERDINAND-VON-STEINBEIS-RING 10,75447 STERNENFELS
Nac.Solicitante DE
Inventor SPEER, ULRICH
WAGNER, ROLAND
LEONHARDT, STEPHAN
NºPublic. 2228974
F.Pub.Conce. 20050416
Prioridades DE20010108101004273
Nº Solicitud Euro. E01989593
NºPubl.Euro. 1350248
F.Pub.Sol.Euro. 20031008
F.Conce.Euro. 20040915
Nº Solicitud PCT W0114662EP
F.Sol. PCT 20011213
NºPubl.PCT W02054398
F.Pub.Sol.PCT 20020711
Países desig.PCT AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL SE MC PT IE FI CY EPO
Clasif.Principal G11B7/26,B29C65/00,B29C65/48