Título PROCEDIMIENTO PARA LA DETERMINACION DEL ESPESOR DE UNA ESTRUCTURA DE CAPAS MULTIPLES FINAS.
Resumen Procedimiento para la determinación del espesor de al menos una capa (3 a 6) sobre un substrato (1), que presenta estructuras geométricas (7) que conducen a difracción de la luz, a través de - medición de valores de la intensidad de la luz de reflexión y/o de transmisión de orden de difracción cero en función de la longitud de las ondas, - cálculo de los valores de la intensidad de la luz de reflexión y/o de transmisión utilizando un modelo de iteración, en el que los parámetros de las capas individuales y las dimensiones geométricas de las estructuras geométricas (7) del substrato (1) son introducidos como otros parámetros, y - modificación de los parámetros de las capas hasta la consecución de una coincidencia entre los valores medidos y los valores calculados.
Solicitante STEAG HAMATECH AG
Direc. Soli. FERDINAND-VON-STEINBEIS-RING 10,75447 STERNENFELS
Nac.Solicitante DE
Inventor HERTLING, ROLF
SCHAUDIG, WOLFGANG
WINDELN, WILBERT
NºPublic. 2237180
F.Pub.Conce. 20050716
Prioridades DE199811128523238
Nº Solicitud Euro. E99958007
NºPubl.Euro. 1129322
F.Pub.Sol.Euro. 20010905
F.Conce.Euro. 20050112
Nº Solicitud PCT W9908534EP
F.Sol. PCT 19991106
NºPubl.PCT W0029808
F.Pub.Sol.PCT 20000525
Países desig.PCT AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL SE MC PT IE FI CY EPO
Clasif.Principal G01B11/06,G01B11/22,G11B7/26,H01L21/66,B29D17/00