Título METODO Y APARATO PARA RECICLAR GASES INERTES.
Clasif. 8 C23C4/00 (2006.01) ,C23C26/00 (2006.01) ,B23K26/34 (2006.01) ,B23K9/04 (2006.01) ,B23K26/14 (2006.01) ,B01D53/00 (2006.01)
Resumen Un método para reciclar un gas inerte evacuado de una cámara (10) de proceso de deposición, comprendiendo el método: después de la evacuación enfriar el gas inerte evacuado para proporcionar un gas enfriado; recircular una proporción del gas enfriado a la cámara (10) a una primera temperatura para uso como gas enfriador en el proceso de deposición de material; y recircular una proporción del gas enfriado a la cámara (10) a una segunda temperatura para uso como gas de protección en el proceso de deposición de material, siendo la segunda temperatura mayor que la primera temperatura.
Solicitante ROLLS-ROYCE PLC
Direc. Soli. 65 BUCKINGHAM GATE,LONDON, SW1E 6AT
Nac.Solicitante GB
Inventor CLARK, DANIEL
ALLEN, JEFFREY
BURROWS, JUSTIN MARK
NºPublic. 2282979
F.Pub.Conce. 20071016
Prioridades GB200408120417936
Nº Solicitud Euro. E05254224
F.Sol.Euro. 20050706
NºPubl.Euro. 1626102
F.Pub.Sol.Euro. 20060215
F.Conce.Euro. 20070328
Países desig.Euro. AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL SE MC PT IE SI LT LV FI RO MK CY AL
Clasif.Principal C23C4/00,C23C26/00,B23K26/34,B23K9/04,B23K26/14,B01D53/00