Título REACTIVACION DE UN BLANCO DE PULVERIZACION CATODICA DE TANTALO.
Resumen Un método para reactivar un blanco de pulverización catódica de tántalo consumido, que comprende las etapas: proporcionar un blanco de pulverización catódica de tántalo usado que tiene una placa de pulverización catódica de tántalo y una placa de soporte, en donde una cara del blanco de dicha placa de pulverización catódica de tántalo incluye una o más porciones de área superficial consumida; proporcionar un polvo de tántalo; suministrar selectivamente un polvo de tántalo para rellenar parcialmente o completamente cada una de dichas una o más porciones de área superficial consumida de la placa de tántalo para formar porciones rellenas; y aplicar un haz de energía radiante de alta potencia de corta duración localmente a dichas porciones rellenas para unir las partículas de polvo de dicho polvo de tántalo entre sí y a cada una de dichas una o más porciones de área superficial consumida para formar una masa de partículas de tántalo unidas, con lo que el haz de energía se hace pasar en un modo de exploración de trama sobre las porciones de área superficial consumida, a medida que el polvo cae, para fundir las superficies de las partículas de polvo y permitir la unión de partícula a partícula y la unión con la base del área superficial consumida continuamente y repetidamente hasta que se rellena y dicho blanco de pulverización catódica de tántalo usado se reactiva sin separar dicha placa de soporte de dicha placa de pulverización catódica de tántalo.
Solicitante H. C. STARCK, INC.,AIMONE, PAUL; C/O H. C. STARCK, INC.,KUMAR, PRABHAT; C/O H. C. STARCK, INC.,JEPSON, PETER R.; C/O H. C. STARCK, INC.,UHLENHUT, HENNING; C/O H. C. STARCK, INC.,GOLDBERG, HOWARD V.; C/O H. C. STARCK, INC.
Direc. Soli. 45 INDUSTRIAL PLACE,NEWTON, MA 02461
Nac.Solicitante US
Inventor AIMONE, PAUL; C/O H. C. STARCK, INC.
KUMAR, PRABHAT; C/O H. C. STARCK, INC.
JEPSON, PETER R.; C/O H. C. STARCK, INC.
UHLENHUT, HENNING; H.C. STARCK
GOLDBERG, HOWARD, V.; H.C. STARCK
NºPublic. 2261656
F.Pub.Conce. 20061116
Prioridades US20010214200160268742
Nº Solicitud Euro. E02718966
NºPubl.Euro. 1362132
F.Pub.Sol.Euro. 20031119
Nº Solicitud PCT W0204306US
F.Sol. PCT 20020214
NºPubl.PCT W02064287
F.Pub.Sol.PCT 20020822
Países desig.PCT AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL SE MC PT IE SI LT LV FI RO MK CY AL EPO
BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG OAPI
GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW ARIPO
AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM EAPO
Clasif.Principal C23C14/34,B22F7/06