Título PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA EL RECUBRIMIENTO DE SUPERFICIES CON PLASMA.
Resumen Procedimiento para el recubrimiento de superficies - en el cual se genera un rayo de plasma (28; 28’; 28”) por el paso de un gas de trabajo a través de una zona de activación (12), - en el cual se alimenta un material precursor de modo separado del gas de trabajo dentro del rayo de plasma, - en el cual se hace reaccionar el material precursor con la ayuda del rayo de plasma y - en el cual se deposita el producto de reacción sobre la superficie (34), - donde tanto la reacción como también la deposición tienen lugar bajo una presión atmosférica caracterizado por el hecho de que por la colocación de una tensión alterna de alta frecuencia se genera una descarga de arco en los electrodos (10, 18) colocados dentro de la zona de activación.
Solicitante AGRODYN HOCHSPANNUNGSTECHNIK GMBH,FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FIRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Direc. Soli. BISAMWEG 10,33803 STEINHAGEN
Nac.Solicitante DE
Inventor FIRNSEL, PETER
BUSKE, CHRISTIAN
HARTMANN, UWE
BAALMANN, ALFRED
ELLINGHORST, GUIDO
VISSING, KLAUS-D.
NºPublic. 2230098
F.Pub.Conce. 20050501
Prioridades DE19991030299191427
Nº Solicitud Euro. E00926739
NºPubl.Euro. 1230414
F.Pub.Sol.Euro. 20020814
F.Conce.Euro. 20041006
Nº Solicitud PCT W0002401EP
F.Sol. PCT 20000317
NºPubl.PCT W0132949
F.Pub.Sol.PCT 20010510
Países desig.PCT AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL SE MC PT IE SI LT LV FI RO MK CY AL EPO
Clasif.Principal C23C4/12,C23C16/513,B05D1/08