Título METODO DE OBTENCION DE OXIDOS CONDUCTORES ELECTRICOS Y TRANSPARENTES MEDIANTE PULVERIZACION CATODICA.
Resumen Método para la obtención de óxidos conductores eléctricos y transparentes mediante pulverización catódica.
Consiste en depositar óxido de indio dopado con estaño y óxido de zinc dopado con aluminio, sobre substratos de vidrio sin calentar intencionadamente, mediante la técnica de pulverización catódica. Comprende las siguientes etapas:
Preparación de los substratos mediante desengrasado, lavado en baño de ultrasonidos, aclarado con agua desionizada y secado mediante chorro de aire.
Introducción de los substratos a recubrir en una cámara de pulverización catódica, y bombardeo de los mismos con iones Ar{sup,+}.
Preparación de blancos de óxido de indio dopado con estaño o de óxido de zinc dopado con aluminio mediante bombardeo con iones Ar{sup,+}.
Recubrimiento de los substratos con el material del que están constituidos los blancos manteniendo en la cámara de pulverización catódica un flujo de argón y oxígeno, este último en cantidades de entre 0,5 y 1 sccm preferiblemente y una densidad de potencia de radiofrecuencia comprendida entre 4000 y 1000 mW/cm{sup,2}.
Este proceso permite obtener láminas delgadas de ambos materiales con alta conductividad eléctrica y alta transparencia a la luz visible.
Solicitante CENTRO DE INVESTIGACIONES ENERGETICAS, MEDIOAMBIENTALES Y TECNOLOGICAS (C.I.E.M.A.T.)
Direc. Soli. AVDA. COMPLUTENSE, 22., 28040 MADRID
Provincia Española 28
Nac.Solicitante ES
Inventor MARTINEZ CALVO,M. ANGELES
GUTIERREZ GARCIA,M. TERESA
HERRERO RUEDA,JOSE
Nº Solicitud P200002141
F.Solicitud 20000828
NºPublic. 2185454
F.Pub.Solicitud 20030416
F.Concesión 20040310
F.Pub.Conce. 20040501
Infor.Estado Tec. ES2102481 US5342676 US4957604
Categ.Doc. A,A,A
F.IET OEPM 20030416
Clasif.Principal C03C17/23,C23C14/08,C23C14/34,B05D5/06,B05D5/12