Título METODO Y APARATO PARA LA GENERACION DE FOSFINA, Y SISTEMA DE SEGURIDAD PARA GENERADORES DE FOSFINA.
Resumen LA FOSFINA SE GENERA MEDIANTE LA REACCION DE AGUA CON UNA FORMULACION DE UN FOSFURO DE METAL. EN UNA CONFORMACION, LA FORMULACION SE ENCUENTRA DENTRO DE UN ALOJAMIENTO (10) CERRADO POR UNA MEMBRANA (12) QUE ES PERMEABLE AL AGUA Y A LA FOSFINA. UN GAS QUE CONTIENE AGUA FLUYE A TRAVES DE LA MEMBRANA Y EL AGUA DEL GAS PENETRA EN EL INTERIOR DEL ALOJAMIENTO PARA REACCIONAR CON EL FOSFURO, PRODUCIENDO FOSFINA QUE TAMBIEN PENETRA A TRAVES DE LA MEMBRANA PARA INTRODUCIRSE EN EL FLUJO DE GAS. PUEDEN USARSE DOS MEMBRANAS (12A, 12B) PARA CERRAR EL ALOJAMIENTO, UNA PERMEABLE AL AGUA, LA OTRA PERMEABLE A LA FOSFINA. PUEDE INCLUIRSE UNA PLANCHA (17) Y UN ABSORBEDOR DE FOSFINA (18) PARA CONTROLAR LA PRODUCCION DE FOSFINA. EN UNA SEGUNDA CONFORMACION, LAS PASTILLAS DE UNA FORMULACION DE FOSFURO SE TRANSFIERE, PERIODICAMENTE, DESDE UNA TOLVA (23) HASTA UNA CAMARA (24) QUE CONTIENE AGUA. LA TRANSFERENCIA SE EFECTUA MEDIANTE UN MIEMBRO EN FORMA DE DISCO (25) MONTADO DEBAJO DE LA TOLVA Y SOBRE LA CAMARA. EL MIEMBRO EN FORMA DE DISCO TIENE AL MENOS UNA ABERTURA EN EL, DENTRO DE LA CUAL SE TRANSPORTAN LAS PASTILLAS DESDE LA SALIDA DE LA TOLVA HASTA EL PUERTO DE ENTRADA DE LA CAMARA. EL CONTROL DE LA PRODUCCION DE FOSFINA SE SUPLEMENTA VARIANDO LA TEMPERATURA DE AGUA Y USANDO UN DISPOSITIVO DE SEGURIDAD ADAPTADO PARA SUMINISTRAR GAS PURIFICADO AL GENERADOR. EL DISPOSITIVO DE SEGURIDAD UTILIZA UN DEPOSITO (73) DE GAS PURIFICADO (USUALMENTE AIRE SECO, NITROGENO O DIOXIDO DE CARBONO) A ALTA PRESION, QUE SE ESTABLECE ANTES DEL FUNCIONAMIENTO DEL GENERADOR DE FOSFINA. SI HAY UN FALLO DE SUMINISTRO DE ENERGIA ELECTRICA AL GENERADOR, O SI LA PRESION DEL GAS O LA CONCENTRACION DE FOSFINA EN EL GENERADOR ES DEMASIADO ALTA, SE ABRE UNA VALVULA (78) QUE DEJA QUE EL GAS FLUYA DESDE EL DEPOSITO AL INTERIOR DEL GENERADOR.
Solicitante COMMONWEALTH SCIENTIFIC AND INDUSTRIAL RESEARCH ORGANISATION
Direc. Soli. LIMESTONE AVENUE,CAMPBELL, ACT 2601
Nac.Solicitante AU
Inventor BANKS, HENRY, JONATHAN
WATERFORD, COLIN, JOSEPH
NºPublic. 2115613
Prioridades AU1990062190073290
AU1990062990091890
Nº Solicitud Euro. E91911435
NºPubl.Euro. 0536196
F.Pub.Sol.Euro. 19930414
F.Conce.Euro. 19980520
Nº Solicitud PCT W9100264AU
F.Sol. PCT 19910621
NºPubl.PCT W9119671
F.Pub.Sol.PCT 19911226
Países desig.PCT AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL SE EPO
AU BR CA HU JP SU US
Clasif.Principal C01B25/06,A23B9/18