Título METODO PARA LA FABRICACION DE UN CABEZAL DE DESCARGA DE LIQUIDO, SUBSTRATO PARA CABEZAL PARA DESCARGA DE LIQUIDO Y METODO PARA SU FABRICACION.
Clasif. 8 B41J2/16 (2006.01)
Resumen Procedimiento para la fabricación de un cabezal de descarga de líquido, que comprende: una etapa para la preparación de un sustrato de Si (1) que tiene una primera superficie como superficie de formación de un elemento y una segunda superficie como superficie posterior opuesta a la primera superficie; una etapa para efectuar un tratamiento térmico con el calentamiento de dicho sustrato de Si (1); una etapa para la formación de una película de SiO2 (7) sobre la segunda superficie de dicho sustrato de Si (1); una etapa para la formación de una sección (8) de abertura para el comienzo del ataque químico en dicha película de SiO2 (7) para exponer dicho sustrato de Si (1); una etapa para la formación sobre la primera superficie de dicho sustrato de Si de un elemento (2) generador de energía para la descarga de líquido para la generación de energía para la descarga de líquido; y una etapa para la formación de una abertura (9) de suministro de líquido que pasa a través de dicho sustrato de Si y que se comunica con la primera superficie desde dicha sección (8) de abertura para el comienzo del ataque químico mediante el ataque químico anisotrópico del Si utilizando dicha película de SiO2 como una máscara, después de dicha etapa de tratamiento térmico; y caracterizado porque:
Solicitante CANON KABUSHIKI KAISHA
Direc. Soli. 3-30-2 SHIMOMARUKO,OHTA-KU, TOKYO
Nac.Solicitante JP
Inventor KOYAMA, SHUJI, CANON KABUSHIKI KAISHA
OZAKI, TERUO, CANON KABUSHIKI KAISHA
NAGATA, SHINGO, CANON KABUSHIKI KAISHA
NºPublic. 2290220
F.Pub.Conce. 20080216
Prioridades JP2001081001244235
Nº Solicitud Euro. E02017857
F.Sol.Euro. 20020808
NºPubl.Euro. 1284188
F.Pub.Sol.Euro. 20030219
F.Conce.Euro. 20071017
F.IET Euro. 20030528
Países desig.Euro. AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL SE MC PT IE SI LT LV FI RO MK CY AL
Clasif.Principal B41J2/16