Título LIMPIEZA DE SUSTRATOS DE OBLEA DE CONTAMINACION DE METALES MANTENIENDO A SU VEZ LA SUAVIDAD DE LA OBLEA.
Resumen LAS SUPERFICIES DE UNA PLAQUETA MICROELECTRONICA SE LIMPIAN PARA ELIMINAR LOS CONTAMINANTES METALICOS MANTENIENDO SU LISURA SUPERFICIAL, PONIENDO EN CONTACTO DICHAS SUPERFICIES CON UNA SOLUCION LIMPIADORA ACUOSA FORMADA POR UNA BASE ALCALINA EXENTA DE IONES METALICOS Y POR UN COMPUESTO POLIHIDROXILADO QUE CONTIENE ENTRE DOS Y DIEZ GRUPOS OH, DE FORMULA HO - Z - OH, EN LA QUE - Z - ES - R -, - (- R 1 - O -) - X - R SUP,2 - O DE FORMULA (I), DONDE - R -, - R 1 -, - R 2 - Y R 3 - SON RADICALES ALQUILENO, X ES UN ENTERO COMPRENDIDO ENTRE 1 Y 4, E Y ES UN ENTERO COMPRENDIDO ENTRE 1 Y 8, A CONDICION DE QUE EL NUMERO DE ATOMOS DE CARBONO DEL COMPUESTO POLIHIDROXILADO NO SEA SUPERIOR A DIEZ. EL AGUA PRESENTE EN LA SOLUCION REPRESENTA AL MENOS EL 40 % EN PESO APROX. DE DICHA COMPOSICION LIMPIADORA.
Solicitante MALLINCKRODT BAKER, INC.
Direc. Soli. 675 MCDONNELL BOULEVARD, P.O. BOX 5840,ST. LOUIS, MO 63134
Nac.Solicitante US
Inventor SKEE, DAVID, C.
SCHWARTZKOPF, GEORGE
NºPublic. 2252776
F.Pub.Conce. 20060516
Prioridades US1996101196729565
Nº Solicitud Euro. E97910817
NºPubl.Euro. 0886547
F.Pub.Sol.Euro. 19981230
F.Conce.Euro. 20060118
Nº Solicitud PCT W9718052US
F.Sol. PCT 19971007
NºPubl.PCT W9816330
F.Pub.Sol.PCT 19980423
F.Pub.Resumen 20000801
Países desig.PCT AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI NL PT EPO
Clasif.Principal B08B3/04,B08B3/14,B08B7/00,C03C23/00,C11D3/20,C11D7/26